Postoje mnoge metode pripreme za tanki film amorfnog silicija solarni paneli . To uključuje reaktivno raspršivanje, PECVD, LPCVD, itd. Reaktantni plin je siH4 razrijeđen s H2. Supstrati su uglavnom staklo i listovi od nehrđajućeg čelika, a nekvalitetni silicijski filmovi izrađeni od njih mogu se koristiti za dobivanje pojedinačnih spojnih ćelija odnosno tandemskih solarnih ćelija kroz različite procese ćelija.

Solarne ćelije od amorfnog silicija imaju veliki potencijal zbog svoje visoke učinkovitosti pretvorbe, niske cijene i male težine. Ali u isto vrijeme, zbog niske stabilnosti, izravno utječe na njegovu praktičnu primjenu. Ako može dodatno riješiti problem stabilnosti i poboljšati stopu konverzije. Zatim, solarne ćelije od amorfnog silicija nedvojbeno su jedan od glavnih razvojnih proizvoda solarnih ćelija.

Tankoslojne solarne ćelije s više spojeva Kako bi pronašli zamjenu za monokristalne silicijeve ćelije, ljudi su razvili solarne ćelije od drugih materijala uz polikristalni silicij i tankoslojne solarne ćelije od amorfnog silicija. To uglavnom uključuje spojeve grupe galijevog arsenida III-V, kadmijev sulfid, kadmijev telurid i tankoslojne baterije bakrenog indijevog selenida. Među gore spomenutim baterijama, iako je učinkovitost polikristalnih tankoslojnih baterija kadmij telurida i kadmij sulfida veća od učinkovitosti tankoslojnih solarnih ćelija od amorfnog silicija, cijena je niža od silicijevih baterija jednog proizvoda i lako ih je masovno proizvoditi, ali budući da je kadmij vrlo toksičan, uzrokovat će ozbiljno onečišćenje okoliša, stoga nije najidealnija zamjena za solarne ćelije od kristalnog silicija. Spojevi galijevog arsenida III-V i tankoslojne baterije bakrenog indijevog selenida privukle su široku pozornost zbog svoje visoke učinkovitosti pretvorbe.